電子廠凈化工程設(shè)計規(guī)范
一、總則
1.1本規(guī)范適用于新建、改建和擴建的電子廠凈化工程的設(shè)計，包括凈化區(qū)域的規(guī)劃、建筑設(shè)計、設(shè)備選型、安裝及調(diào)試等。

1.2凈化工程設(shè)計應遵循設(shè)計標準、行業(yè)標準和技術(shù)規(guī)范，確保工程質(zhì)量、安全、環(huán)保和經(jīng)濟效益。

二、術(shù)語和定義
2.1凈化度：指空氣中塵埃、微生物等有害物質(zhì)濃度的控制程度。

2.2凈化區(qū)域：指通過空氣凈化設(shè)備對空氣進行過濾，達到一定凈化度的區(qū)域。

2.3生物潔凈室：指采用空氣層流或混合流凈化技術(shù)的潔凈室，主要用于生產(chǎn)生物制品、藥品等。

2.4 物理潔凈室：指采用空氣過濾技術(shù)，控制空氣中塵埃等有害物質(zhì)濃度的潔凈室。

三、凈化區(qū)域規(guī)劃
3.1凈化區(qū)域應與生產(chǎn)區(qū)域分開，避免交叉污染。

3.2凈化區(qū)域應根據(jù)生產(chǎn)要求劃分不同的凈化等級，并采取相應的凈化措施。

3.3凈化區(qū)域的設(shè)計應考慮人流、物流的合理流向，減少交叉污染的可能性。

四、建筑設(shè)計
4.1凈化區(qū)域的建筑結(jié)構(gòu)應具有足夠的強度和密閉性，包括高效過濾器、FFU風機過濾單元、高效送風口以保證凈化效果。

4.2凈化區(qū)域的地面、墻面、頂面應采用易于清潔、防靜電、耐腐蝕的材料。

4.3凈化區(qū)域的門窗應密封良好，并采取防塵、防蟲措施。

五、設(shè)備選型與安裝
5.1空氣凈化設(shè)備應選用高效過濾器，其過濾效率標準。

5.2空氣凈化設(shè)備的選型應考慮凈化等級、處理風量、能耗等因素。

5.3空氣凈化設(shè)備的安裝位置應合理，風淋室、傳遞窗等確保氣流方向和凈化效果。

5.4空氣凈化設(shè)備的控制系統(tǒng)應具備實時監(jiān)測、報警和遠程控制功能。

六、空氣凈化
6.1凈化區(qū)域應采用空氣層流或混合流技術(shù)，確保空氣流向和流速。

6.2空氣凈化設(shè)備應定期清潔和維護，以保證其凈化效果。

6.3凈化區(qū)域的溫度和濕度應控制在適宜范圍內(nèi)，以保證生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。

七、防塵與防菌
7.1凈化區(qū)域應采取有效的防塵、防菌措施，如使用防靜電地面、防塵服等。

7.2凈化區(qū)域的人員應經(jīng)過專業(yè)培訓，遵守凈化操作規(guī)程。

八、安全與環(huán)保
8.1凈化工程設(shè)計應充分考慮安全與環(huán)保要求，確保生產(chǎn)安全和環(huán)境保護。

8.2凈化工程的設(shè)計有關(guān)消防安全、職業(yè)健康等。

九、驗收與運行
9.1凈化工程竣工后，應進行驗收，包括凈化度檢測、設(shè)備運行測試等。

9.2凈化工程投入運行后，應定期進行維護和檢測，確保凈化效果。

十、附則
10.1本規(guī)范自發(fā)布之日起實施。

10.2本規(guī)范由電子工業(yè)標準化研究院負責解釋。

10.3本規(guī)范如有修改，將另行通知。